DLC（Diamond Like Carbon）涂層又叫類金剛石涂層，它是一種新型的硬質(zhì)潤滑功能涂層材料，具有SP2和SP3電子軌道雜化的碳原子空間網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，通常為非晶態(tài)或非晶-納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。DLC涂層具有較高的硬度、優(yōu)異的減摩耐磨性能、高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學(xué)透過性以及優(yōu)異的化學(xué)惰性和生物兼容性等，在航空航天、機(jī)械、電子、光學(xué)、裝飾外觀保護(hù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。DLC涂層適合于磨損和滑動的環(huán)境下，在沒有任何潤滑介質(zhì)的條件下，可以降低摩擦損耗，可以用于汽車發(fā)動機(jī)零部件（燃油噴射系統(tǒng)、動力傳動系統(tǒng)）、軸承、滾輪、紡織機(jī)械、航空航天等眾多領(lǐng)域。
DLC薄膜的制備方法有多種，目前常用的主要有物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）以及液相法等。我公司利用GIMS?氣體離子源增強(qiáng)磁控濺射技術(shù)制備DLC涂層，向GIS離子源中通入C2H2或CH4等含C氣體，GIS放電后分解和離化出C原子和H原子，制備DLC涂層，同時啟動MS濺射靶，鍍制出摻雜Ti、Cr、W等金屬的Me-DLC涂層，DLC涂層硬度2500HV，摩擦系數(shù)：0.1-0.2。
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